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我们的 SemiChem 高级工艺监控器 (APM) 是一种湿化学监控系统，可自动采样、分析和报告关键化学机械抛光 (CMP) 和配方清洁化学工艺的定量化学浓度。它为工艺工程师提供准确性、可靠性和灵活性，以实现更高的效率和一致性，以满足更高产量和零缺陷容差的要求。在竞争极其激烈的微电子行业中，如果没有使用复杂的监控和控制来确保晶圆制造的一致性，最先进的设施也无法承担高昂的工艺成本。
SemiChem 高级过程监控器 200 系列
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