摘要:聚合物的电性能在传感器、储能、微电子和过滤膜等广泛的应用中越来越重要。在本文中,提出了多能金离子注入对氧化石墨烯(GO)、聚酰亚胺(PI)、聚对苯二甲酸乙二酯(PET)和聚乳酸(PLLA)元素、化学、结构和电性能的影响,以及在 3D 金属-电介质结构合成中的潜在应用。按升序或降序使用三种能量 3.2、1.6、0.8 MeV 的金离子,剂量为 3.75×10 14 cm -2,以升序或降序创建两个样本集,随后通过 RBS、ERDA、EDS 和 AFM 进行分析。RBS 分析用于注入样品中的金深度轮廓表征,轮廓与 SRIM 代码模拟的轮廓相当一致。采用标准两点技术研究了离子辐照所用的参数下的电性能。离子辐照后,方块电阻降低,并且很明显,离子注入能量的上升顺序对电导率的提高的影响比下降顺序更显著。