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建议使用氩气和氢气混合气体来清洁铜引线框架的氧化铜等氧化物污染物,因为氢气与氧化物反应生成水分子,水分子很容易被抽走。氩气的物理离子轰击和氢气的化学反应相结合,可去除污染物。建议使用氧气和氦气混合气体来改善毛细管底部填充,以获得微小间隙中的最佳润湿性。

等离子清洗

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