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As 4 分子束 在 PBN 管中注入分子 N 2 气体,产生射频功率诱导等离子体 活性 N 2 * 和 N 物种束 主要激发分子物种:E. Iliopoulos 等,J. Cryst. Growth 278, 426 (2005) 来自 Knudsen 室的 Ga 原子束
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