器件参数。1 这些参数可分为两大类:决定器件导通状态下性能的参数和决定器件关断状态下性能的参数。表 1 列出了 Keithley SMU 仪器支持的几种功率半导体器件的常见导通状态和关断状态参数。许多测试涉及使用多台 SMU 仪器。Keithley 的 ACS Basic Edition 软件通过管理测试系统中所有 SMU 仪器的配置和数据收集来简化测试配置。与通用启动软件不同,ACS Basic Edition 专为半导体器件特性分析而设计,包含一个测试库;用户可以专注于测试和器件参数,而不是 SMU 仪器配置。本说明中包含的测试结果是使用 ACS Basic Edition 软件获得的,该软件包含在我们的 PCT 配置中。
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