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高纵横比硅沟槽的蚀刻。
在 DRAM 器件中制造电荷存储电容器时，高纵横比 (AR) 沟槽对于实现大电容值必不可少。高 AR 沟槽的蚀刻会受到固有 RIE 滞后机制的影响，这是由于深沟槽底部的离子能量和蚀刻物质数量减少所致。本文提出了两种方法来尽量减少这些问题，从而实现更高的硅蚀刻速率和更深的沟槽。本文所述工作中使用的气体混合物为 HBr + NF 3 + O 2 。沟槽蚀刻工艺的设计目的是在蚀刻沟槽时在侧壁上连续沉积一层薄钝化膜。这种氧化物状钝化膜 (SiO x F y Cl z ) 可防止沟槽侧壁在 XY 平面表面被蚀刻时被蚀刻。在蚀刻过程中平衡形成钝化膜对于在高纵横比沟槽蚀刻中实现高度各向异性至关重要。尽管钝化膜形成于包括蚀刻前沿在内的所有表面上，但沟槽底部的膜却不断被入射到该表面上的高能离子去除。然而，侧壁上的膜不受离子轰击（除了那些以掠射角接收离子且能量 > 阈值能量的区域），因此不会被蚀刻，从而防止硅的横向蚀刻。该过程还提高了掩模选择性，因为钝化膜也沉积在掩模表面上，从而降低了其有效蚀刻速率。据悉，蚀刻工艺内置有沉积组件，可在沟槽表面形成氧化物状钝化膜。由于沟槽开口附近的壁暴露在高浓度反应物等离子体中的时间最长，因此此处的沉积物较厚（> 25 nm），并随着深度逐渐变薄至 < 5 nm。沟槽下部沉积物较薄的另一个原因是，从倾斜掩模偏转的一些离子以掠射角到达该区域并使薄膜变薄。顶部沉积物较厚的直接后果是开口收缩，从而减小了这一临界尺寸，这反过来又通过减少进入沟槽孔的离子和中性粒子的数量而增加了 RIE 滞后。因此，可实现的深度减小，电池电容也减小了。显然，通过减薄衬里定期扩大该开口将允许更多蚀刻物质进入沟槽，底部的立体角增加，从而实现更高的硅蚀刻速率。虽然减薄可以在单独的系统中完成，但我们建议在本文中现场执行此步骤。需要定制此原位等离子清洗工艺，以便在此步骤中不会显著蚀刻掩模。这很关键，因为减薄工艺按要求，等离子体中几乎没有或完全没有沉积成分。我们已成功使用硅烷（例如 SiH 4 ）和含 F 气体（例如 NF 3 ）的混合物以及少量或完全没有氧气来进行此减薄步骤。另一种方法涉及去除钝化层
交通流量模拟建模中的环境方面
摘要。本文处理汽车运输的空气污染问题。在全球现代城市中，这种排放是一个问题，它们会损害人类生活和环境的许多方面。不断变化的交通流量和道路基础设施的现代化是减少城市地区生态状态负载的方法。通过模拟模型可以开发概念并评估其对运输系统和环境的影响。研究建立了创建数字双流量流所需的所有对象及其定性和定量特征。使用参数建模技术使我们能够创建一个反映主题区域各个方面的模拟模型。开发的模型允许进行更改对象参数的实验，以根据其生态状态预测系统行为的变化。
AI驱动无人驾驶汽车的伦理法律 - 电子书
人工智力现在存在于我们日常生活的许多领域中。它有望领导新的和有效的业务模型，以在私营和公共部门中有效和以用户为中心的服务。在深度学习，（深度）增强学习和神经进化技术方面的AI进步可以为人工通用智能（AGI）铺平道路。但是，AI的开发和使用也带来了挑战。数据语料库中普遍存在用于训练AI和机器学习系统的固有偏见归因于大多数这些挑战。此外，多个实例强调了在基于动力的决策中需要隐私，公平性和透明度的必要性。本书系列将为研究人员，领导者，决策者和决策者提供一条途径，以分享AI最前沿的研究和见解，包括其在道德，可解释的，可解释的，隐私的，可信赖的，可信赖的和可持续的方式中的使用。
Hanwell Town计划 - 伦敦Factex House-居民参与策略2024年5月
Purpose ........................................................................................ 3
诺贝尔奖颁给阿兰·阿斯派克特 (Alain Aspect)、约翰·克劳泽 (John Clauser) 和安东·蔡林格 (Anton Zeilinger)
这时，约翰·克劳泽 (John Clauser) 出现在了故事中：首先，当他还是哥伦比亚大学的研究生时，他发现了贝尔定理的一个修改版本，其中的不等式可以应用于实际实验（使用纠缠光子对和对各种极化方向的测量）；然后在 1972 年，他与伯克利大学的 Stuart Freedman 一起进行了第一个实验，最终证明贝尔不等式被违反了 5 个标准差以上 [3]。这个实验使用灯来激发原子（激光时代之前！），是一个杰作，数据采集时间为 200 小时。克劳泽的结果后来由 Fry 和 Thompson 在 1976 年通过类似的实验证实。与此同时，从 1974 年开始，Alain Aspect 参与了一项计划，其中通过相对论论证来强制执行对中每个光子的偏振测量之间的独立性。在奥赛光学研究所进行的这些实验中，每个偏振器的设置都在随时间快速变化，因此两个检测通道之间不可能交换有关此设置的信息：在创建纠缠光子对之后，对光子偏振的测量基础的选择已经完成，局域性条件（这是贝尔定理的一个基本假设）成为爱因斯坦因果关系的结果，可防止任何超光速的影响。这导致了 1982 年发表的
教育与计算机科学哲学跨学科研究的计算机方面
摘要。对学科内部和学科之间的事件的一项大规模全球研究提供了有力的证据，表明主要思想家已经开始引入新的思维方式，以至于大多数学术学科在整个20世纪都经历了重大范式变化。在过去的四十年中，我们越来越多地看到了重大的变化，即使没有，在主要科学学科中。几乎所有学科都出现了新的思维方式。借助跨学科方法，已经出现了一种运动以整合知识，超越了与学科专业相关的知识的分散。计算机技术和计算机概念几乎渗透到了学术研究的几乎所有领域。这些事件分别可以视为新的思维方式和新知识模型的实施，并且可能是意识发展的边缘，在该方面，计算机技术占据着重要地位。全球化和计算机化时代的教育和沟通是社会持续存在的明显必要。
高效远程飞机的最佳机翼纵横比
这项工作调查了较高纵横比翼的潜力，以提高远程飞机的燃料效率。高纵横比机翼的主要特征是讨论的，并提出了航空结构机翼优化的过程。基于尾边控制表面偏转的自适应机翼技术，以实现最佳的升力分布，从而最大程度地减少巡航战斗中的阻力并最大程度地减少操纵流的负载减少，并由高级结构技术通过增加的应变易于应变和后式结构技术来补充。在优化过程中，使用高实现模拟方法来确定跨性别巡航流中的权限，机翼上的机翼上的载荷和复合机翼盒的质量。在所有流动条件下都考虑了静态气动弹性效应。最小化三个典型战斗任务的燃油消耗代表了目标函数。考虑控制表面和飞机装饰的几何整合。该过程的应用以优化机翼平面形，扭曲分布和控制表面变化构成了本出版物的主要部分。结果显示了12个顺序的最佳机翼纵横比。将纵横比的进一步增加到13。5显示空气动力学性能和由此产生的燃料消耗没有进一步改善。
agcl：方面图构建和学习方面情感分类
关于方面情感策略（ALSC）的先前研究强调了建模方面和环境之间的相互关系，但忽略了方面本身作为基本领域知识的关键作用。为此，我们提出了AGCL，这是一种新颖的A Spect G Raph C Onstruction和L Charning方法，旨在为模型提供精心调整的方面信息，以增强其任务认可能力。agcl的关键创新位于方面图构造（AGC）和方面图（AGL）中，其中AGC可以利用内在的方面连接来构建DO-MAINTEAK图形，然后AGL迭代地更新引入的方面图以增强其领域的专业知识，从而使其更适合ALSC任务。因此，此域As-pect图可以用作连接未见方面与可见方面的桥梁，从而增强了模型的概括能力。的三个广泛使用数据集的结果证明了方面信息对ALSC的重要性，并突出了AGL在方面学习中的优越性，超过了最新的基线。代码可从https：//github.com/jian-projects/agcl获得。