机构名称：
¥ 1.0
CMP 溶液在半导体技术高速公路中发挥着不可或缺的作用。它们是高密度集成电路生产中必不可少的一步。CMP 溶液是由许多成分组成的复杂分散体。这些胶体系统的生产和稳定性非常复杂且难以预测，因此必须在生产过程中甚至在最终发货之前对其进行监控。一些 CMP 悬浮液表现出独特的行为，它们受剪切和机械应力的影响，导致不可逆的聚集。这些低水平的聚集物通常会在晶圆加工过程中造成划痕，有时直到生产进行到很晚才被发现，从而给最终用户带来重大的经济损失。AccuSizer ® 在 CMP 浆料制造和使用的整个产品链中一直发挥着重要作用，并且将继续发挥重要作用。从原材料供应商、CMP 浆料制造商、浆料分销供应商、过滤器供应商到芯片制造商，Entegris 和 AccuSizer 50 多年来一直在积极检测和提供有关好浆料和坏浆料的信息。
CMP 过滤效率
主要关键词
相关文件推荐
