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摘要 — 本文详细研究了机械应变对过渡金属二硫属化物 (TMD) 材料隧道场效应晶体管 (TFET) 的影响。首先,利用密度泛函理论 (DFT) 的第一原理在元广义梯度近似 (MGGA) 下计算机械应变对 MoSe 2 材料参数的影响。通过在非平衡格林函数 (NEGF) 框架中求解自洽 3D 泊松和薛定谔方程,研究了 TMD TFET 的器件性能。结果表明,I ON 和 I OFF 均随单轴拉伸应变而增加,但 I ON / I OFF 比的变化仍然很小。TMD TFET 中这种应变相关性能变化已被用于设计超灵敏应变传感器。该器件对 2% 的应变显示出 3.61 的灵敏度 (ΔI DS / I DS)。由于对应变的高灵敏度,这些结果显示了使用 MoSe 2 TFET 作为柔性应变传感器的潜力。此外,还分析了应变 TFET 的后端电路性能。结果表明,与无应变 TFET 相比,基于受控应变的 10 级反相器链的速度和能效有显著提高。

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