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摘要:提出了一种由级联微环谐振器和AWG组成的高分辨率集成光谱仪,实现了0.42nm的高分辨率和90nm的带宽,在生化传感应用方面有很高的潜力。OCIS代码:(300.6190) 光谱仪;(130.3120) 集成光学器件;(130.6010) 传感器。引言当前光谱仪领域最重要的研究之一是基于平面集成光波导技术的光谱仪,其结构多种多样,例如阵列波导光栅(AWG)[1]、中阶梯光栅[2]、微环谐振器(MRR)[3]和波导傅里叶变换(FT)光谱仪[4-5]。其中,对AWG和EDG等分光式传统光谱仪的研究已经持续了很长时间。在我们之前的工作中,我们提出并演示了一种基于级联 AWG 和可调微环谐振器阵列的高分辨率、宽带宽集成光谱仪 [4]。然而,每个通道的微环都需要调谐,这非常耗时。在本文中,我们提出了一种将热调谐 MRR 与 AWG 级联的结构来制作高分辨率光谱仪,从而减少了微环阵列调谐所花费的时间。

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