机构名称：
¥ 2.0
Dilase 250 是一款实用的台式高分辨率激光光刻系统。因此，可以使用 Dilase 250 在对蓝色或紫外线激光波长敏感的光刻胶中写入光刻微结构，方法是使用发射波长为 375 或 405 nm 的固定连续激光源。写入表面可以延伸至 4 英寸，而可实现的最小特征尺寸（宽度）为 1 µm。该设备提供矢量和扫描写入模式，并确保轨迹在 100 nm 的最大偏差范围内。随附的电动光学聚焦系统提供快速和精细的聚焦设置，以满足各种基板厚度要求，从 150 µm 到 5 mm。这款紧凑型系统还为基板室提供了可选的晶圆装载和卸载系统，从而提高了清洁度、提高了产量并提高了用户安全性。Dilase 250 系统与大多数市售光刻胶兼容，例如 SU8、Shipley 和 AZ 光刻胶。它仅针对与 KLOE 开发的用于高纵横比微结构化应用（1x20）的 K-CL 光刻胶配合使用进行了优化，通过激光光刻技术。
迪拉塞 250
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