第 1 部分:执行摘要和范围简介集成电路发明 60 多年来,一直有人定期预测摩尔定律将终结。虽然设计和工艺技术方面正在进行重大创新,以继续推动向下一个节点的发展,但摩尔定律的经济效益即将终结,先进节点的一些关键性能指标正在趋于稳定,正如商业杂志《经济学人》2016 年 3 月 12 日的一篇文章所描述的“摩尔定律饱和”(图 1.1)。半导体行业正在实施 EUV、FinFET 和 FinFET 后继者。5 纳米节点已处于早期生产阶段,3 纳米节点即将到来。摩尔博士自己对摩尔定律技术终结的预测正在接近目标年份。2016 年 3 月 12 日文章中的信息在今天仍然具有现实意义。
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