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大直径衬底的优势 大直径衬底制造成本(单位面积)显著降低 大直径晶圆的可用性有助于将 SiC 基器件从小众市场推向主流市场 现有的 200 毫米硅晶圆生产线可用于制造 SiC 器件
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