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摘要 —我们首次介绍了一种高密度、聚合物基穿透微电极阵列的设计、制造和初步的台式表征，该阵列专为在行为大鼠的皮层和海马中进行长期、大规模记录而开发。我们针对这些目标大脑区域提出了两种架构，均采用 512 个 Pt 记录电极，这些电极在微机械加工的八柄薄膜聚对二甲苯 C 阵列上前后图案化。与之前基于聚合物的微电极阵列的研究相比，这些设备在记录电极的数量和密度方面都有了数量级的提高。我们介绍了与光刻分辨率相关的聚合物微加工方面的进展以及一种用于电极背面图案化的新方法。体外电化学数据验证了合适的电极功能和表面特性。最后，我们描述了在自由移动的动物模型中实施这些阵列进行长期、大规模记录研究的后续步骤。[2020-0109]
512 通道多层聚合物神经探针阵列
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