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随着特征尺寸的减小和晶圆尺寸的增大,在此期间,支持这些设施的设备成本飞涨。一个全新的芯片工厂可能耗资超过 100 亿美元,但预期投资回报期为 3 年。运营成本过去和现在都很高,而且由于技术在不断发展,生产空间的灵活性至关重要。降低成本、提高产量和开发下一代技术的持续压力促使许多供应商尽其所能进行创新,特别是在提高效率和降低总拥有成本 (TCO) 方面。PTFE 过滤器就是其中一项创新,因为在这十年中,折叠和测试能力得到了极大改善。

利用 HEPA 过滤避免空气中的分子污染 (AMC)

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