机构名称：
¥ 2.0
许多工业和研究生产程序都会使用工艺气体并产生废气。这些废气有毒且/或高度易燃，通常会对生产设施和环境造成重大风险。例如，半导体行业使用全氟化碳，其全球变暖潜能值极高。将不同的气体混合并输送到工厂的中央废气系统中可能会产生高度易燃和高度爆炸的气体混合物，这在过去有时会导致整个生产设施完全损毁。气体中所含的颗粒也可能导致排气堵塞。为了消除这些风险，需要在“使用点”（POU）处理工艺废气，在那里有害废气会立即减少。在 20 世纪 90 年代初，还没有合适且全面的技术解决方案。自 1992 年以来，由 DAS Environmental Expert 开发和制造的 POU 设备已经掌握了这项任务。无论是硅烷、磷化氢还是氟利昂，DAS 设备都可以根据客户要求，安全且环保地处理芯片行业几乎所有生产步骤产生的废气。DAS 设备可用于几乎所有现代涂层和蚀刻设备。对于大多数气体，它们的效率达到 99% 以上，因此超过了 TA-Luft 规定的标准（根据德国清洁空气法规）。DAS 技术基于灵活的集成产品概念，将工艺气体供应、工艺设备和工艺废气消除结合在一个系统中。最小的设备可放入占地面积不到 1 平方米的柜子中。DAS 技术完全自动化且由传感器控制，符合最高安全标准。在废气处理领域，DAS 目前拥有 9 个注册专利系列。
DAS 环境专家有限公司
主要关键词
相关文件推荐
