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我们使用数值模拟来演示与 Cs 校正 STEM 成像相当的分辨率，方法是使用调制器在未校正的仪器上执行 CGI（图1b-g）。我们模拟了 MoS 2 扭曲双层的 CGI 实验（图1b），其中两个 MoS 2 单层以 7° 角堆叠在一起。这样的样本提供了几乎连续的原子间距离范围，并且已被证明可用于估计成像技术的分辨率 [37]。我们假设一台 300 kV 显微镜，其 Cs = 2.7mm，在 Scherzer 条件下，需要使用小孔径（𝛼= 7.3 𝑚𝑟𝑎𝑑 ），将分辨率限制为 1.63 Å，如图所示。1d。相反，CGI 允许使用更大的数值孔径，从而实现更高的分辨率。在图中。1f-g 我们展示了使用 2𝛼 会聚半角计算的 CGI 重建，尽管存在像差，但仍提供 0.64 Å 的分辨率。该值与具有相同半会聚角的无像差成像系统的分辨率相当。事实上，只要能够预测照明模式，就可以使用任意大的半会聚角。准确的探测预测对于未来的实验实现至关重要，如补充材料 [38] 中所述。一个限制因素是相干性 [38]，其阻尼包络定义了传输到结构化照明的最高频率 [39,40]。
通过计算鬼影成像提高透射电子显微镜的分辨率
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