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Transpector APX 不仅是目前速度最快的 RGA 工艺监测器，还提供了一系列创新的入口和离子源选项，可根据工艺条件进行选择，从而实现最长的正常运行时间。下一代 Transpector APX 入口系统设计用于承受容易产生颗粒或涂层的工艺化学反应，如 ALD 或 PECVD。这允许进行连续监测，以在所有关键工艺步骤中捕获数据点。此外，还提供简化和 HexBlock 入口选项，INFICON 专有涂层可抵抗腐蚀性气体，这对于腔室清洁端点监测应用至关重要。
transpector apx 残留气体分析仪
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