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扩散炉是一个热处理单元,具有圆柱加热室,可以水平或垂直定向。由于等距表面辐射热量,因此可以通过出色的热均匀性处理圆形工件。它们也可以在部分真空条件下发挥作用,以确保整个操作中的大气控制。这对于确保蒸气相扩散到固态半导体的情况下而无需引入不良杂质的最佳条件至关重要。
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