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*1 允许最大压力是指压力恢复到正常(额定)范围时,允许压力暂时增加到的上限,同时仍允许恢复正常压力。如果反复加压或静态压力增加持续 10 分钟或更长时间,则不能保证对功能没有影响。 *2 请确认气体接触部分的材料是否适合要测量的气体。 * UC/EP 级采用三重填料(充满 N₂)。

ZT61 半导体行业数字压力表

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