机构名称：
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通过其对低对称晶体相的依赖性，铁电性本质上是与给定材料相关的相位图较低温度范围的特性。本文提供了结论性的证据，即在铁电Al 1-X SC X N的情况下，低温必须被视为纯粹的术语，因为确认其铁电到 - 偏移过渡温度可以超过1100°C，因此几乎任何其他任何其他薄膜。我们通过研究0.4-2μm厚的Al 0.73 SC 0.73 SC 0.27 N膜在MO底部电极上通过原位高温X射线衍射和渗透者测量在MO底部电极上生长的结构稳定性得出了这一结论。我们的研究表明，在整个1100°C退火循环中，Al 0.73 SC 0.27 N的Wurtzite型结构是通过恒定的C / A晶格参数比率可见的。原位介电常数测量最多执行的1000°C强烈支持此结论，并包括仅在测量间隔非常上端的发散介电常数的开始。我们的原位测量值通过原位（扫描）透射电子显微镜以及极化和容量滞后测量得到很好的支持。这些结果证实了在完整的1100°C退火处理过程中铭刻极化的稳定性旁边的尺度上的结构稳定性。因此，Al 1-X SC X n是第一个容易获得的薄膜铁电薄膜，其温度稳定性几乎超过了微技术中发生的所有热预算，无论是在制造过程中还是设备的寿命，即使在最恶劣的环境中也是如此。
1在铁电的特殊温度稳定性上...
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