通过(TSV)技术利用同轴性通过Silicon,提出了紧凑的低通滤波器(LPF)。首先,通过分析计算,有限元方法(FEM)模拟和测量,研究了基于同轴TSV的几个电容器。其次,提出并通过FEM模拟和测量结果对基于同轴TSV的螺旋感应的电感式的公式进行了验证。最后,提出了基于基于TSV的电容器和电感器的研究,提出了基于2×4、2×5、2×6和2×7同轴TSV阵列的提议𝐿𝐶LPFS的分析模型,并且在AD和HFF中建立了等效电路模型以及在ADS和HFSS中的有限元模型(FEM)模型。LPF通过测量进行制造和验证。在建议的LPF中,同时使用同轴TSV作为电容器和电感器,这会导致更紧凑的大小。电感器的寄生能力可以帮助诱导拟议的LPF在停止带中诱导一个缺口,并提高滚动速率。
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