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5.1光刻

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微作业对现代科学技术越来越重要。能够制造新型微观结构或设计较小版本的现有结构的能力为技术进步提供了许多机会。这些微观结构还提供了研究基本科学现象的前景，这些现象在较小的维度上发生，例如在量子限制的情况下，在纳米结构中观察到。然而，微分化在微电子中具有基本用途及其应用范围从微分析到微电力学系统（MEMS）。在微型化时代，进行化学或生化反应和分析需要空腔，通道，泵，阀，储物容器，电极等。这些组件的典型尺寸在几微米到几毫米的长度或宽度的范围内，深度和高度的几nm至几µm之间。由于微分化，基于微系统的设备的某些优点如下：

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