机构名称：
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摘要：金属 - 半导体 - 金属等离激元纳米结构可以通过增强局部静电式和光学效果来实现芯片效果的操纵和超快光电检测。后者是通过使用纳米结构的薄膜（GE）等离子体 - 波导指导光电遗传学来实现的。虽然它们的大小和位置可以在纳米化过程中准确控制，但由于沉积的无定形性质，检测器的官能显着降低。我们证明，通过空间控制激光诱导的GE结晶，可以显着提高波导积分GE等离子光电探测器的效率（超过2个数量级）。我们研究了经过800 nm激光处理的自由空间和波导综合的GE光电探测器，通过拉曼光谱监测结晶程度，并通过检测电信辐射来证明效率提高。可以在各种纳米仪设备中使用所证明的局部后处理技术，以实现有效和超快的芯片辐射监测和检测，从而显着改善了检测器特性，而不会危及其他组件的性能。关键字：表面等离子体偏振子，等离激元波导，片上光反检测，激光诱导的结晶
片段的光电探测器效率提高了局部激光诱导的结晶
主要关键词
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