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AE 通过引入双极脉冲直流技术打破了双磁控溅射模式,在之前控制有限的领域提供了前所未有的等离子控制。Ascent® AP 电源通过在紧凑型双磁控溅射解决方案中引入额外的控制参数,进一步扩展了您优化输出的能力,现在也适用于单磁控溅射。凭借专利脉冲技术,Ascent AP 解决方案可主动抑制电弧,其广泛的操作范围解锁了一系列材料选项,以扩展工艺灵活性和材料创新。

Ascent AP(高级脉冲)电源

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