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用于近眼显示设备光栅中Cr 的ICP 刻蚀工艺研究
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周燕萍 ( 通信作者 ), 硕士 , 研究员 , 主要研究方向为半导体材料的刻蚀工艺开发 。E-mail:yanping_zhou@ ulvac. com

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