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简介 从根本上说，扫描电子显微镜 (SEM) 图像的质量取决于所检测到的电子的质量。尽管传统的 SEM 设计采用 Everhardt-Thornley 探测器 (ETD) 来探测二次电子 (SE)，采用镜头下探测器来探测背散射电子 (BSE)，但先进的 SEM 可以配备多个镜头内探测器。由于这些探测器可以收集 SE 和 BSE 信号，因此可以根据观察到的电子的能量和/或发射角度对其进行分类。本文介绍了 Thermo Scientific™ Apreo SEM（带 NICol 镜筒）和 Scios™ DualBeam 中的 Thermo Scientific™ Trinity™ 检测系统。它由三个探测器组成：两个镜头内探测器（T1、T2）和一个镜筒内探测器（T3）。这种独特的系统提供了无与伦比的 SE 和 BSE 对比度以及有关样品成分、形态、表面特征等的详细信息。
采用 Trinity 检测系统进行高级 SEM 成像
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