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工业中的“灰尘”颗粒 - 污染物或商品：在微电子工业中，化学活性等离子体用于进行等离子蚀刻，以形成数百万个微观电路元件（例如晶体管），这些元件是所有现代电子产品的核心。这些条件与灰尘在等离子体中形成的条件完全相同！由于现代微电子使用的电路元件通常小于 10 纳米，因此这种大小的灰尘颗粒很容易损坏和污染加工后的芯片。然而，灰尘颗粒不仅仅是一种滋扰，它们可能是一种重要的商品。例如，纳米颗粒嵌入太阳能电池中以提高光收集效率，可用作抗菌剂，甚至用于改进计算机内存。1,2
尘埃等离子体 - IEEE NPSS
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