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注释:1. 由于我们持续进行产品改进计划,规格如有变更,恕不另行通知。2. 所有规格均为 800 kHz 规格。3. 预热时间后,冷却器温度 = 23 +/- 0.1°C 4. 最大传输率下,可变衰减器和过程快门的最大功率。5. 800 kHz 操作下的 DUV 自相关。6. 超过 8 小时,±1°C 环境温度。7. 单脉冲操作(突发数 = 1)。8. 稳定状态(无脉冲选通或脉冲重复率变化)。9. M x 2 和 M y 2 的平均值。
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