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术语 定义 3D 三维 5G/6G 用于无线互联网连接和通信的第五代和第六代蜂窝技术。 ABT 制造设备减排 ACGIH 美国政府工业卫生学家会议 AI 人工智能 AIX 阴离子交换 ALD 原子层沉积 铝蚀刻 包括磷酸、硝酸和乙酸的水性混合物。 AMHS 自动化物料处理系统 ANSI 美国国家标准协会 防 EBO 防环氧树脂渗漏 防反射涂层 用于减少表面界面光反射的顶部或底部涂层，以更好地控制光刻中的线宽。 APM 氢氧化铵（28 wt %）、过氧化氢（30 wt %）和水的混合物，也称为 SC1。 水基 以水为溶剂的混合物。 ARC 防反射涂层 ArF 氟化氩 物品 由一种或多种物质和混合物制成的物体，在生产过程中被赋予特殊的形状、表面或设计，其功能比其化学成分更受决定，无论是单独使用还是与其他物品、物质和混合物组装在一起。此外，用于制造半导体加工设备、支持设备、设施设备的材料，以及其他含有 PFAS 的购买或生产物品。组装、测试和包装
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