•清洁室环境中的纳米级装置制造•电子束光刻(EBL)和光刻图•低温传输测量•真空系统,薄膜沉积(热和电子束蒸发),•半导体材料/设备的电气表征(由I-V和C-V概率)(I-V和C-V概率)(I-V和CRAM)•SEMRANT和SERTARCER•SEMRASS(SEM),X,X,X,X,X,X,X,x,x,x,x,x,x,x,x,x,x,x,x,x,x,即使用空间电荷光谱(如DLTS)进行表征•使用能量离子修改材料性能•软件包:Labview,起源研究指南博士学位:2•基于离子辐照硅的当前运输的研究研究指导,基于离子辐射的Schottky屏障结构(2021)(2021)的Hemant Chaurasia•基于Nanowire的Hemant Chaurasia•NANOWIRE NOMBATIRE ELECTORITE ELLECERITE DED ELLELYTE DED ELLETRERN DED•2022222222222222221222222122222222年2月202位。进度:2
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