机构名称：
¥ 1.0
有机 - 无机杂种作为设计具有独特功能的功能材料的创意替代品。物理和化学特性的组合（例如，有机和无机成分的柔韧性，电导率和催化活性），有机会建造具有新的或改进特性的材料。1这些功能杂种可以在光学和光致发光，2,3电子，4,5生物学，6,7个保护性涂层，8和传感器等广泛领域中使用。9,10然而，大多数现有的微技术和纳米技术都需要具有均匀和共形覆盖率的超薄膜材料，最好在原子/分子水平上。可以通过气相沉积技术（例如原子/分子层沉积（ALD/MLD））来实现此类混合薄膜材料的设计。ald已成为用精确厚度控制的无机材料薄膜沉积的重要工具。11
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