Jagannathan,H.,Martino,J.,Karim,Z.,Kakushima,K.,Timans,P.J.,Gousev,E.(eds。)。(2023)。硅兼容新兴材料,高级CMO和CMOS应用后应用的过程和技术13&Advanced CMOS兼容的半导体设备20(第20卷 111)。 ecs电化学社会。 链接202 Elektrotechnik,Elektronik,InformationStechnik硅兼容新兴材料,高级CMO和CMOS应用后应用的过程和技术13&Advanced CMOS兼容的半导体设备20(第20卷111)。ecs电化学社会。链接202 Elektrotechnik,Elektronik,InformationStechnik