机构名称：
¥ 4.0
请勿打开 - 由于危险电压，仅授权人员应打开盖子的破坏用户。注意：必须将Autoglow 200/300运行，并将样品载体正确插入自动基室内。除非将载体插入室内，否则请勿运行系统，这可能会对RF发生器和匹配网络造成严重损害。简介本手册被分为涉及与Autoglow 200/300和Autoglow 300等离子体系统有关的所有问题的部分。Autoglow 300在每个电极架子上具有15英寸可用空间的较深室。本手册将这两个系统称为Autoglow 200/300。这包括详细的安装说明，规格以及设备以及设备组件上的所有控件和指示器的完整描述。安全危害和预防措施部分指出设备操作涉及的任何风险以及用于安全操作和维护系统的建议。系统中还概述了系统包含的安全功能。操作理论的一部分解释了在过程开发和优化过程中等离子体产生背后的原理以及在操作员控制的变量。目标是给予
操作和维护手册
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