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CEA-LETI的Vertatile Photonics平台提供了200毫米和300毫米CMOS兼容的过程,可利用行业前工业化设备的顶部。除了硅外,CEA-LETI还掌握了无定形SI,SIGE,GE和SIN层的整合和堆叠。因此,CEA-LETI现在提供了几个图片平台:•光子学SOI•超低损失SI 3 N 4•SIGE / SI•3-8 µm波长•GE / SIGE低损失8-12 µm波长CEA-LETI CEA-LETI不仅证明了IIII-V-Bonded bybond bybond bybondepie bynepie and epi-epi-epi-epi-epi-epi-ln的集成。新一代性能激光器,调节器和探测器的超导材料。

硅光子学-CEA -LETI

硅光子学-CEA -LETIPDF文件第1页

硅光子学-CEA -LETIPDF文件第2页