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¥ 18.0

数字微镜装置改进 德州仪器改进了其先前宣布的数字微镜装置 (DMD),该装置旨在取代大屏幕投影电视接收器中的阴极射线管 (CRT) 和液晶光阀 (LCLV) 投影仪。最新的改进增加了每个装置上有效的镜面面积。DMD 每边的尺寸小于 5/e 英寸,由驱动器装置顶部形成的 400,000 多个可移动微型镜子阵列组成。驱动器本质上是一个 CMOS 静态只读存储器 (SRAM),包含逻辑、内存和控制电路。来自计算机的数字信号使镜子在基板芯片的控制下在两个触点之间来回翻转。DMD 反射照射在其上的光,并且镜子在任何给定时间的位置决定了可以投影的图像。DMD 与 LCLV 一样,被归类为空间光调制器或 SLM,因为其操作取决于其反射来自外部光源的光的能力。DMD 是通过采用标准 CMOS 制造技术制造基本驱动器芯片而制成的。然后将反射铝合金层沉积在该基板上并蚀刻掉,以形成 17 微米方形微镜阵列,这些微镜由允许所有微镜以 ± 10° 角度移动的结构支撑。每个镜子在两个对角相对的角上通过柔性扭力杆连接到支撑柱上。(见图1)支撑柱将每个镜子悬挂在驱动器表面上方约 2 微米处,提供电信号和静电力,使镜子从一个触点到另一个触点“摇摆”。

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