光子生物传感器的制造是在 200 毫米绝缘体上硅技术平台上实现的。虽然光子生物传感器是从晶圆顶部构造的,但微流体通道是通过背面释放工艺局部引入的,该工艺结合了干湿蚀刻。对于 760 µ m 厚的硅基板的局部背面蚀刻,采用了深反应离子蚀刻 (DRIE) 工艺和硬掩模,二氧化硅与硅的选择性非常高(SiO2:Si 选择性为 1:200)。这保证了对埋层氧化物 (BOX) 的严格控制。我们选择了 RIE 和湿蚀刻的组合来去除 BOX,因为如果仅使用 RIE,波导结构可能会受损。纯化学湿蚀刻的缺点是由于 BOX 的蚀刻速率低,工艺时间延长。图 1 a 显示了制造的光子传感器芯片。可以在其他地方找到制造过程的全面描述。7 – 9
摘要在这项研究中,铝(Al)薄膜使用RF磁铁溅射技术沉积在SIO 2 /Si底物上,以分析RF溅射功率对微观结构表面形态的影响。采用不同的溅射RF功率(100-400 W)形成薄膜。使用X射线衍射模式(XRD),扫描电子显微镜(SEM),原子力显微镜(AFM)和傅立叶转换红外(FTIR)光谱研究,研究了沉积的Al薄膜的特征。X射线衍射(XRD)结果表明,低溅射功率的沉积膜具有无定形性质。通过增加溅射功率,观察到结晶。AFM分析结果表明,300 W的RF功率是增强最光滑的Al薄膜的最佳溅射功率。FTIR结果表明,不同的RF功率会影响沉积膜的化学结构。SEM结果表明,通过增加旋转功率,可以导致在底物表面形成孤立的纹理。总而言之,RF功率对沉积膜的性质,尤其是结晶和形状有重大影响。
ALD 在引领半导体技术方面发挥着关键作用,而其在其他前沿行业的应用领域也正在迅速增长。据市场估计,仅设备市场目前的年收入就接近 20 亿美元,预计在未来 4-5 年内将翻一番。经过 30 多年的广泛研究,ALD 氧化铪和其他高 k 电介质可以替代传统半导体制造中的二氧化硅 (SiO2),最终于 2004 年被三星采用,在 90 nm DRAM 节点的大批量生产中用作高 k 电容器电介质。其他 DRAM 公司紧随其后,后来在 2007 年,英特尔在 45 nm 节点引入了 ALD HfO2 作为高 k 栅极电介质。这些事件导致 ALD 设备和前体市场蓬勃发展,随后出现了其他行业中 ALD 的其他工艺、前体、材料和应用,这些将在演讲中介绍。
物理特性 颜色 目测 象牙色 密度 g/cm3 ASTM C373-88, ASTM C20 3.91 晶粒尺寸 微米 ASTM E112-10 25 结晶相 % Alpha XRD 100 吸水率 % ASTM C373-88 0% 抗弯强度 PSI 3 点 PSI ASTM C1161, F417 39,870 弹性模量 GPA per ASTM C1198 ASTM C1198 347 泊松比 ASTM C848 0.22 抗压强度 (PSI) ASTM C773 323,000 硬度 (GPA) ASTM C1327 维氏 1342 断裂韧性 MPa√m 单边缺口 4.19 添加剂 (YtO3) Wt% ICPMS N/A 杂质 (SiO2 ) PPM GDMS <500 杂质 (Na2O) PPM GDMS <400 杂质 (CaO) PPM GDMS <400 杂质 (K2O) PPM GDMS <100 杂质 (Fe2O3) PPM GDMS <400 杂质 (TiO2) PPM GDMS <100 杂质 (C) PPM GDMS <50 杂质 (S) PPM GDMS <50
D.增加营养价值:发现纳米复合材料,纳米乳液和聚合物纳米颗粒适用于封装生物活性化合物(例如,氟替胺和维生素),以便在运输到目标的过程中保护它们[17]。ÿ食品质量:纳米技术可改善食物质量,食物味,质地和食物外观。除了安全评估[5,18]。ÿ热稳定性和光稳定性:显示出氰化素-3-葡萄糖苷(C3G)分子在Apo-recombenans大豆种子H-2(RH-2)内的内部腔内的封装,提高了C3G的热和光稳定性[19]。•鲁丁蛋白是一种具有重要药理活性的饮食中的avonoid,在水中易于溶于水,但在铁蛋白纳米局中的封装可以增强溶解度,并提高了热和紫外线辐射的稳定性[20]。•水分和生物利用度:使用天然食品成分生产纳米乳液,通过增强水分散体和生物利用度来提供脂溶性生物活性化合物[21]。•纳米颗粒添加了颜色或浅色:许多金属氧化物,例如二氧化钛和二氧化硅(SIO2)已被用来在
1.引言 近年来,磁性纳米材料由于其显著的磁性能而引起了人们的极大兴趣,并已在生物和生物医学领域得到实际应用 [1–4]。超顺磁性磁铁矿(Fe3O4)因其超磁性能而被开发为不同生物医学技术的合适候选材料,例如磁共振成像[5–7]、高温治疗[8,9]、药物靶向输送[10–13]、标记、细胞分选[14]和生物制品分离[1,13,15]。已经合成了大量磁性纳米粒子,它们通常由 Fe3O4 磁性纳米粒子和可合成改性的壳组成,例如 SiO2 [16]、Au [17]、LDH [18]、聚甲基丙烯酸缩水甘油酯 [19]、聚苯乙烯 [20] 等。其中,SiO 2 因能保持 Fe 3 O 4 核心的磁性、化学稳定性、生物相容性、表面改性灵活性等优势被广泛认为是最佳的壳层材料[21, 22],且表面分布有大量硅醇基团,可以为有机聚合物、生物活性分子、自由基等提供结合位点[23]。
摘要:将新材料作为硅在光子设备中的应用一直是科学界的关注中心。二维(2D)材料表现出很大的能力,可以替代这种障碍。石墨烯由于其独特的特性(例如高迁移率和光学透明度),除了灵活性,稳健性和环境稳定性外,还具有光子学和光电子学发光的2D材料之一。据报道,有几种基于石墨烯的光电探测器,具有与各种能量热电,电磁和压电设备集成的能力。但是,由于其带隙限制,原始石墨烯不适合在红外区域检测合理信号。在这项工作中,使用石墨烯/金属插入的石墨烯光电探测器证明了基于石墨烯的近红外检测。使用化学蒸气沉积(CVD)在Cu底物上生长插烯石墨烯,并将层湿转移到Si/SiO2底物上。已将锥形铝微电极用于电触点,以改善照明过程中光生载体的检测。证明了红外检测,在室温下测试了反应性和量子效率,并解释了光生的机理。
输出缓冲器由二氧化硅 (SiO2) 绝缘屏障隔开,可提供高达 3.75kV RMS (60s) 的电流隔离。隔离通过断开接地环路来改善通信,并在端口之间的接地电位差较大时降低噪声。CA-IS2062 在逻辑侧由单个 5V 电源供电。集成的 DC-DC 转换器为电缆侧产生 5V 工作电压。该设备不需要除旁路电容器以外的任何外部组件来实现隔离的 CAN 端口。收发器的工作数据速率高达 1Mbps,并具有集成保护功能以实现稳健的通信,包括电流限制、热关断和 CAN 总线上的扩展 ±58V 故障保护,适用于需要过压保护的设备。主要超时检测可防止由控制器错误或 TXD 输入故障引起的总线锁定。这些 CAN 接收器还包含 ±30V 的输入共模范围 (CMR),超过了 ISO 11898 规范的 -2V 至 +7V。 CA-IS2062 采用宽体 16 引脚 SOIC(W) 封装,工作温度范围为 -40°C 至 +125°C。
SIC是(Opto)电子应用的发展场中的关键组成部分,尤其是SIC-ON-ON-on-On-on-On-on-On-on-On-on-On-on-On-on-On-on-On-On-on-On-on-On-on-On-On-on-On-On-on-On-On-on-On-On-on-On-On-On-On-On-On-On-On-On-siC底物可以开发创新的光子应用和电气开关的新设备。因此,SICOI的制造引起了极大的关注,并且已经在1200°C以上的温度下进行了证明。为了维持互补的金属 - 氧化物 - 氧化型兼容性并避免埋入的SiO2层的扩散,需要低于1200°C的工艺温度。在项目的最后几个月中,FAU在1120°C在SI和SOI底物上通过CVD制造3C-SIC的FAU取得了显着结果。使用带有非水冷却的内部设置的水平冷壁CVD反应器实现了3C-SIC的外延生长。硅烷和丙烷在氢气中稀释,用作硅和碳源的前体气体。对SI底物进行了各种测试后,与高于1200°C的温度相比,由于较低温度下的碳种类分裂的降低,因此选择了6.8的C/Si比为6.8。底物之间的唯一区别是扩展冷倒入周期,这对于防止外延层从SOI底物中分层是必要的。
ﺩ。ﺧﻠﻴﻞ ﺧﻠﻴﻞ1)为了获得材料的高沉积速率,源材料的蒸气压必须为______背景真空压力。1) +高于2) - 低于3) - 等于4) - 所有答案都是正确的2)在微流动器的情况下,带有梳子驱动执行器,这是一个刺激性的__________,在所需的驱动电压中,__________________________________________________________1) - 增加,增加2) - 减少,减少3) +减少,增加4) - 所有答案都是不正确的3)热电器是多个热电偶,在_________中排列,电压输出为__________。1) +平行,系列2) - 系列,平行3) - 系列4) - 平行,平行4)大多数微加速度计基于____________的原理。1) - 静电力2) - 电磁力3) - 热力4) +机械变形5)“由于过热而无法维持持续时间的驱动运动”,”这是______________________________驱动技术的主要缺点。 ___________类型是在开发中溶解的。1) +阳性2) - 负3) - 正或负4) - 所有答案都是不正确的7)硅的湿氧化通常是由于____________而被首选的。1) - 较低的成本2) - Sio2的Beter质量3) +更快的氧化4) - 所有答案都是正确的8)清洁室的班级数量越高。1) - 是。2) + false。9)扩散过程是__________的一个例子。1) - 压力驱动流2) +熵驱动的传输3) - 梯度诱导的流量
