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光与单个粒子相互作用会产生特定的散射图案。与基于单个光电二极管检测的传统光学 PM 传感器不同，我们测量附近图像传感器上散射特征的无透镜投影（投影距离为 1.5 毫米）。这使我们能够计数粒子并确定其大小和折射率。这些参数是通过图像处理并与计算 Lorenz-Mie 散射图案投影的辐射测量模型进行比较来检索的。我们描述了传感技术、该传感器的架构和制造以及特性结果，这些结果与我们基于理论的预测非常吻合。特别是，我们表明可以区分不同尺寸的校准颗粒（单分散聚苯乙烯乳胶球）。该传感器足够灵敏，可以检测到单个粒子，并且最小尺寸小于 1µm。
用于颗粒物检测的微型光学传感器
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