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光源特性。为了实现便携式传感或片上实验室功能的低成本、稳定的光谱复制，近年来高分辨率片上光谱仪的开发取得了长足进步。传统的片上光谱仪通常基于梯阶光栅[1–3]和阵列波导光栅[2,4–7]，需要精心设计才能满足目标光谱要求。这些器件的光谱分辨率与光路长度成比例，因此占用面积相对较大（≈1-2 cm2）。另一种很有前途的片上宽带光谱仪方法是将微机电系统 (MEMS) 技术与傅里叶变换红外光谱相结合。[8–14] 这些器件通常通过深蚀刻硅制成，因此不适合可见光波长范围内的应用。Mortada 等人介绍了一种不同的基于 MEMS 的架构，利用光在空气中的传播。可以将操作范围扩展到可见光波长，同时在 635 nm 波长下具有中等分辨率。[9]
基于定制无序的波导集成宽带光谱仪
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