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市场上有大量基于光学技术的区域表面形貌测量仪器。然而，由于缺乏对光和部件表面之间复杂相互作用的理解，将光学仪器投入生产存在问题——研究仪器的光学传递函数有助于解决这个问题。本报告旨在回顾光学传递函数测量技术。从空间相干、单色共焦扫描成像系统的基础出发，介绍了三维 (3D) 成像中的光学传递函数理论。进一步的概括得以回顾，从而允许将该理论扩展到描述传统和干涉 3D 成像系统，涉及一系列空间相干性。还简要考虑了多色传递函数。进一步专门针对表面形貌的测量。在介绍理论结果之后，介绍了测量每类系统的光学传递函数的实验方法，重点介绍了在 3D 成像和表面形貌测量中建立校准标准的合适方法。
光学表面传递函数的确定...
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