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最高质量的大体积亚表面和 3D 信息 通常需要进行亚表面或三维表征以更好地了解样品的材料特性。在许多情况下，需要使用传统 Ga + FIB 仪器无法获取的大体积来获得具有代表性和相关性的结果。Helios 5 PFIB UXe DualBeam 配备可选的 Thermo Scientific Auto Slice & View 4 (AS&V4) 软件，具有出色的大电流性能，能够以多种模式最高质量、全自动地采集大体积 3D 数据集，包括但不限于用于最大材料对比度的 BSE 成像、用于成分信息的能量色散谱 (EDS) 和用于微观结构和晶体学信息的电子背散射衍射 (EBSD)。与 Thermo Scientific Avizo™ 可视化软件相结合，它可提供独特的工作流程解决方案，以实现纳米级最高分辨率、先进的 3D 表征和分析。
Helios 5 PFIB UXe 双光束
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