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摘要：设计并制作了一种采用方形膜片、充油封装隔离的0～120 MPa压力传感器，该装置在无电路补偿的情况下非线性度优于0.4%，精度为0.43%。利用ANSYS软件对该传感器模型进行仿真，基于该模型仿真计算了压敏电阻位置变化时输出电压及非线性度的变化。仿真结果表明，随着纵向电阻（RL ）相对于横向电阻（RT ）的应力增大，压力传感器的非线性误差先减小到0左右后又增大。对此现象进行了理论计算和数学拟合。基于此提出了一种在保证最大灵敏度的情况下优化高压传感器非线性度的方法。在仿真中，优化模型的输出较原模型有明显的改善，非线性误差由0.106%显著降低至0.0000713%。
高精度的仿真与非线性优化...
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