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摘要。几十年来，显微镜和各种形式的干涉仪一直用于通常大于光波长λ的物体的光学计量。然而，由于衍射极限，亚波长物体的计量被认为是不可能的。我们报告说，通过分析物体散射的相干光的衍射图案，使用深度学习分析，可以测量亚波长物体的物理尺寸，精度超过λ/800。使用633nm激光，我们表明可以以0.77nm的精度测量不透明屏幕中亚波长狭缝的宽度，这对电子束和离子束光刻的精度提出了挑战。该技术适用于集成计量和加工工具的智能制造应用中纳米尺寸的高速非接触式测量。
通过... 实现的亚波长物体的光学计量
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