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由于纳米结构组件在成本中占很大比例，并且在新设计的产品中起着关键作用，因此纳米可靠性研究极其重要。将功能性“智能”纳米材料集成到独立的 MEMS 设备中，极大地拓宽了微型系统的功能应用空间，包括用于生物医学应用的微流体和生物兼容微型设备。未来几十年，新兴纳米材料、纳米电子结构和纳米 MEMS 平台的集成水平将达到前所未有的水平。如今，深亚微米 CMOS 技术是开发现代计算机系统的基础，该系统广泛应用于几乎所有应用领域。晶体管尺寸的稳步减小允许高频率、更低的功耗和更高的性能。这提高了 VLSI 系统的性能，但对其可靠性产生了负面影响，大大增加了
引言 纳米可靠性研究极其...
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