机构名称：
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摘要：本文介绍了一类三串联欧姆开关，包括其设计原理、仿真结果以及对第一批制造样品进行的测量结果。所采用的膜片设计基于蜿蜒梁，旨在降低驱动电压。在 Ansys Workbench 环境中进行的初步且有希望的机电仿真预测驱动电压在 5-8 V 范围内，而测量结果显示的值略高。此类设备的电磁行为与在 Ansys HFSS 环境中进行的仿真表现出普遍的定性一致性，在 5-30 GHz 间隔内，回波损耗（< - 20.22 dB）和隔离度（< - 14.86 dB）方面具有令人满意的性能。
