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david.cheung@entegris.com，http://www.ecp-entegris.com 关键词：清洁度、包装材料、颗粒、分子污染、调节、暴露。摘要。敏感元件的颗粒和分子清洁度是航天工业以及其他许多工业领域的优先事项。为了在储存和运输过程中保持表面清洁，对包装有严格的要求：保护敏感设备免受外部环境的影响，并且不交叉污染组件。本研究侧重于调节方法的优化，以便根据设备对颗粒和/或分子污染的敏感性提出一些包装材料选择的建议。已经建立了一种方法，包括各种柔性和刚性包装材料中基板样品的暴露模式，以及相关测量协议的开发。在颗粒和分子污染方面，可以对测试的包装材料进行基准测试：这将有助于用户为其专用应用选择最合适的材料。
空间敏感表面的污染研究
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