Yogesh M.Motey 先生 Purnashti A. Bhosale 女士 (电子与电信系) (电子系) GHRIET，那格浦尔 PIGCE，那格浦尔 yogesh.motey@gmail.com bhosalepurnashti@gmail.com 摘要 — 微机电系统或 MEMS 是结合电气/电子和机械元件的集成微型设备或系统。MEMS 技术的快速发展带来了许多伟大的想法和物理、化学和生物传感器的发展。如果说半导体微加工是第一次微制造革命，那么 MEMS 就是第二次革命。本文反映了有关该技术的最新研究成果。本文回顾了表面微加工、体微加工、LIGA 微加工和激光微加工等工艺，以展示每种工艺的特点并进行比较。关键词——微机电、表面微加工、高纵横比微加工、LIGA、体微加工、激光微加工。