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蚀刻工艺。等离子系统用于电离反应气体，离子被加速轰击表面。蚀刻是通过化学反应和蚀刻物质的动量传递的组合而发生的。湿蚀刻的典型蚀刻曲线：
讲座 3-1 微加工回顾 I：CMOS 工艺，......
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