机构名称：
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系统。这些多功能设备（或系统）利用集成电路（IC）批处理处理技术来制造这些复杂的设备，将机械工程的精度与电气工程的复杂性融合（Wang等人。2024; Algamili等。2024; Geetha 2011）。mems设备和系统具有感知，控制和攻击的能力，并在微观尺度和产生影响宏观尺度的效果上。mems制造涉及各种技术领域的设计，工程和制造专业知识，包括集成电路制造技术，机械工程，材料科学，电气工程，化学和化学工程。这种多学科方法对于MEMS技术的发展和发展至关重要。流体工程，光学，仪器和包装等其他领域在MEMS设备和系统的制造中也起着重要作用。MEMS设备通常是使用半导体制造工艺制成的，类似于综合电路（ICS）的生产（Torkashvand 2024; Mohd et al。2020; Dibyendu 2015）。MEMS设备的制造涉及多个关键步骤，包括设计，材料选择，晶圆处理和包装，这些步骤是微系统技术的子集（MST）（Senturia 2002； Maluf and Williams 2004）。
微观缓存和微观
主要关键词
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