机构名称：
¥ 3.0
在超声波范围内。CMUT 的基本构造块是电容器单元，由悬浮在重掺杂硅基板（底部电极）上方的金属化膜（顶部电极）组成。与压电换能器不同，CMUT 以静电方式实现换能。CMUT 的优点在于电容器腔内具有非常大的电场；10 8 V/m 或更高的场会导致非常高的机电耦合系数。已经利用 MEMS 技术制造了用于水下声学成像的 1x16 元件 CMUT 传感器阵列。已经通过激光多普勒测振仪 (LDV) 测量了设备的位移特性。阵列的所有 16 个元件的中心频率都在 1.29–133 MHz 范围内，预计会提供 700 kHz 的中心频率，这是为水下成像设计的
技术
主要关键词
相关文件推荐
