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自从 80 年代发明以来，扫描探针显微镜 (SPM) 在大学和工业界中就非常流行，用于检查许多不同的样本参数。这是将这项技术更贴近操作员的效果。尽管易用性为不需要太多劳动力的测量提供了可能性，但定量分析仍然是市场上扫描探针显微镜的限制。根据纳米计量组的经验，SPM 仍然可以被视为定量检查热、电和机械表面参数的工具。在这项工作中，我们提出了一个 ARMScope 平台作为多功能 SPM 控制器，它被证明可用于各种应用：从原子分辨率 STM（扫描隧道显微镜）到多共振 KPFM（开尔文探针力显微镜）到商用 SEM（扫描电子显微镜）。
扫描探针显微镜系统的多功能平台
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